High-End Modernisierung für Ihren Quarzrohrofen

Hochleistungs-Quarzrohrofen

Die nachhaltige Lösung für Hochtemperaturprozesse in der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie. Die Quarzglas-Prozesskammer gewährleistet eine außergewöhnliche chemische Reinheit und hohe Temperaturbeständigkeit, während die hochpräzise Temperatursteuerung selbst anspruchsvollste Prozesse mit maximaler Reproduzierbarkeit ermöglicht. Durch modernste Steuerungstechnik bietet unser Ofen höchste Stabilität, Effizienz und Flexibilität für eine Vielzahl industrieller Anwendungen – von der Forschung und Entwicklung bis hin zur Serienfertigung. Die intelligente Steuerung sorgt für eine zuverlässige Prozessüberwachung, intuitive Bedienung und optimale Anpassung an individuelle Anforderungen.

Anwendungsbereiche

  • Halbleiterfertigung & Mikroelektronik: Diffusionsprozesse, Oxidation, Rapid Thermal Processing (RTP), Tempern
  • Materialforschung & Nanotechnologie: Graphen- und Nanoröhrensynthese, Wärmebehandlung neuer Materialsysteme, Sintern von Keramik
  • Sensorik & Optoelektronik: MEMS-Herstellung, Dünnschichtabscheidung, optische Komponenten
  • Photovoltaik & Energiespeicher: Dotierung von Solarzellen, Wärmebehandlung von Batteriematerialien, Festkörperelektrolyte
Anwendungsbereiche Anwendungsbereiche

Technologische Highlights des Quarzrohofens

Technologische Highlights
  • Höchste Präzision: Temperaturen bis 1100°C, homogene Temperaturverteilung
  • Zukunftssichere Steuerung: Bosch Rexroth-SPS, Langzeitverfügbarkeit, Netzwerkintegration
  • Nachhaltigkeit & Flexibilität: Autarker Betrieb, upgradefähige Software, erweiterbar mit Zusatzsensorik

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